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晶圆上下料机

OP010:晶圆传动单元 OP020:料盒定位单元 OP030:料盒升降单元 生产线的在线检测率:100%;要求每道工序需对上道工位进行防漏

OP010:晶圆传动单元
OP020:料盒定位单元
OP030:料盒升降单元
 
生产线的在线检测率:100%;要求每道工序需对上道工位进行防漏检测。
安全防护:运动部分有防护罩保护,
Operator: 1人(主要是对振动盘进行补料,以及tray盘的上下料)
 
归正输送线 
 
平移输送线
 
平行移载机
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